7月6日，陜西半導(dǎo)體先導(dǎo)技術(shù)中心接待了陜西科技大學(xué)輕工科學(xué)與工程學(xué)院（柔性電子學(xué)院）印刷工程系大三本科生與部分研究生的參觀實(shí)習(xí)，向?qū)W生展示了第三代半導(dǎo)體SiC、GaN工藝流程、產(chǎn)品及應(yīng)用場景。

工藝平臺資深技術(shù)人員陪同學(xué)生參觀了第三代半導(dǎo)體氮化鎵和碳化硅展廳，詳細(xì)講解了半導(dǎo)體配套設(shè)備設(shè)施、外延到劃片工藝設(shè)備以及工藝流程，學(xué)生們通過近距離接觸和結(jié)合工程師的講解，對半導(dǎo)體制造工藝流程及其設(shè)備有了深刻認(rèn)識。

先導(dǎo)中心工藝平臺擁有千級凈化廠房2000余平方米，及化合物半導(dǎo)體外延材料生長MOCVD設(shè)備、薄膜沉積、光刻機(jī)、勻膠顯影、干法和濕法刻蝕、高溫爐管、金屬蒸鍍、化學(xué)清洗、激光剝離、鍵合、研磨拋光、激光劃片、刀片劃片、SEM、XRD等芯片工藝設(shè)備，具備外延材料和器件中試工藝能力。

同時可提供第三代半導(dǎo)體技術(shù)成果轉(zhuǎn)化、產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合攻關(guān)和人才培養(yǎng)實(shí)訓(xùn)服務(wù)，包括前沿產(chǎn)品研制、產(chǎn)品工程化驗(yàn)證、小批量生產(chǎn)等中試服務(wù)，及工程型人才培養(yǎng)、學(xué)生實(shí)習(xí)實(shí)訓(xùn)等技術(shù)服務(wù)。

先導(dǎo)中心以“樹芯計劃”為品牌，圍繞集成電路設(shè)計、半導(dǎo)體封裝測試、SiC、GaN第三代半導(dǎo)體器件的設(shè)計、工藝制造及應(yīng)用方向開展實(shí)習(xí)實(shí)訓(xùn)、校企合作、技術(shù)論壇、政企培訓(xùn)等各項活動，先導(dǎo)中心將繼續(xù)充分發(fā)揮平臺優(yōu)勢，服務(wù)于陜西省內(nèi)各高校、企業(yè)，促進(jìn)陜西半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。